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报告题目：光学平台的隔振理论及应用

报告摘要：

当受到外界振源的激励时，光学系统会产生强迫振动，过大的振动会导致设备部件发生相对位移，出现光路偏转、采集的图像信号模糊等，致使设备无法正常工作。

隔振光学平台将地面传递来的振动和负载运动引起的振动进行实时衰减或隔离，从而保障负载不受振动的影响，顺利的实现微米至纳米量级的设定精度，因此被广泛的应用于光学试验、加工及测量中，典型应用为激光干涉仪系统、电镜（原子力、隧道扫描等）、显微镜、极大规模集成电路制造装备等。

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