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六自由度并联运动台 — Free6D.3-2.070
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 高刚性系统
产品图片&尺寸
产品参数
1 | 可选版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全无磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø70 × 65 mm |
3 | 主体材料 | 标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：400 g；,NM 纯钛，陶瓷：600 g |
4 | *大垂直负载 | 300 g |
5 | 运动行程 X，Y，Z | ± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm |
6 | 运动行程 θX，θY ，θZ * | ± 16 °,± 13 °,± 26 ° |
7 | 单向重复精度 X，Y，Z * | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
8 | 单向重复精度θX，θY，θZ | ± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad |
9 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
10 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
11 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
12 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
13 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) |
14 | 控制器规格 | MC-Free6D |
六自由度并联运动台 — Free6D.3-2.150
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 高刚性系统
产品图片&尺寸
产品参数
1 | 可选版本 | .HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全无磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø150 × 90 mm |
3 | 主体材料 | 标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：1.4 kg；,NM 纯钛，陶瓷：2.1 kg |
4 | *大垂直负载 | 1 kg |
5 | 中空孔径 | Ø40 mm |
6 | 运动行程 X，Y，Z * | ± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm |
7 | 运动行程 θX，θY ，θZ * | ± 9 °,± 8 °,± 14 ° |
8 | 单向重复精度 X，Y，Z | ± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm |
9 | 单向重复精度 θX，θY，θZ | ± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad |
10 | 最小步伐 X，Y，Z | 10 nm，10 nm，10 nm |
11 | 最小步伐 θX，θY，θZ | 1 μrad，1 μrad，1 μrad |
12 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
13 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
14 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK) |
15 | 控制器规格 | MC-Free6D |
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