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三自由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.070
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 灵活高的可定制方案
产品图片&尺寸
产品参数
1 | 可选版本 | .HV,高真空版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø70×82 mm |
3 | 主体材料 | 标准版， .HV,.UHV铝合金，钢：800 g;,NM纯钛，陶瓷：460 g |
4 | *大垂直负载 | 5 kg |
5 | 中空孔径 | Ø10 mm |
6 | 运动行程Z,θX,θY* | ±2.5 mm,±9°,±10° |
7 | 单向重复精度Z,θX,θY | ±0.2 μm,±8μrad,±8μrad |
8 | 最小步伐Z,θX,θY | 10 nm,1 μrad,1μrad |
9 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
10 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
11 | 线缆&接头 | 默认：屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包线， D-Sub15(PEEK) |
12 | 控制器规格 | MC-Free3D |
三自由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.100
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 灵活的可定制方案
产品图片&尺寸
产品参数
1 | 可选版本 | HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，*全无磁版本； |
2 | 外形尺寸 | Ø100 × 78 mm |
3 | 主体材料 | 标准版，+HV，+UHV 铝合金，铜：1010 g；NM 纯钛，陶瓷：580 g |
4 | *大垂直负载 | 500 g |
5 | 中空孔径 | Ø20 mm |
6 | 运动行程 Z, 6X, 6Y* | 0–20 mm, ± 30°, ± 30° |
7 | 单向重复精度 Z, 6X, 6Y* | ± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad |
8 | 最小步优 Z, 6X, 6Y* | 10 nm, 1 μrad, 1 μrad |
9 | 传感器类型 | 光学位置传感器 |
10 | 位置传感器分辨率 | 2 nm |
11 | 线缆 & 接头 | 默认：屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 涂层线缆，D-Sub15 (PEEK) |
12 | 控制器规格 | MC-Free3D |
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